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全自动晶圆光学镜检机
适用于切割前/切割后的晶圆缺陷检测,高运动精度,高检测精度,高运行算力
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全自动晶圆光学镜检机
适用于 Wafer/Frame 的外观缺陷检测。配置先进的光学系统,搭载多道光组合检测,结合 AI 算法检测模型,可以精确识别晶圆表面常见缺陷。分布式计算系统为检测提供超高算力。
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